石英玻璃是由各種純凈的石英(如水晶、石英砂等)熔化制成。
石英玻璃是一種二氧化硅單一組分的特種工業(yè)技術(shù)玻璃。這種玻璃硬度大可達(dá)莫氏七級(jí),具有耐高溫、膨脹系數(shù)低、耐熱震性、化學(xué)穩(wěn)定性和電絕緣性能良好,并能透過紫外線和紅外線。
石英玻璃由于其耐溫、耐酸、低膨脹和透過性的物理性能,滿足了半導(dǎo)體工業(yè)對(duì)載具材料中堿金屬和重金屬含量的要求。
石英玻璃的特點(diǎn)
1、純度高。石英玻璃二氧化硅的含量比普通玻璃高。
2、耐高溫。石英玻璃具有較高的耐熱性。一般來說,石英玻璃的使用溫度為1100℃~ 1200℃。
3、抗熱震性好。石英玻璃線膨脹系數(shù)小,是普通玻璃的1/10~1/20,有良好的抗熱震性。
4、光學(xué)性能可靠。這里說的光學(xué)性能,主要體現(xiàn)在光線透過率、紫外線、紅外線透過率上。它既可以透過遠(yuǎn)紫外線,又可透過可見光可近紅外光譜。
5、耐酸性強(qiáng)。
石英玻璃的耐酸性是比較好的。包括硫酸、硝酸、鹽酸、王水、中性鹽類等,石英玻璃都有良好的耐受性。
總之
石英玻璃是二氧化硅單一成分的非晶態(tài)材料,光學(xué)性能優(yōu)異,在紫外到紅外輻射的連續(xù)波長范圍都有優(yōu)良的透射比。石英玻璃的形成是由于其熔體高溫黏度很高引起的結(jié)果。
石英玻璃用于制作半導(dǎo)體、電光源器、半導(dǎo)通信裝置、激光器,光學(xué)儀器,實(shí)驗(yàn)室儀器、電學(xué)設(shè)備和耐高溫耐腐蝕的化學(xué)儀器、化工、電子、冶金、建材等工業(yè),應(yīng)用十分廣泛。
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